Прибор XULM предназначен для выполнения измерений на более мелких структурах. Он оснащается микрофокусной трубкой, позволяющей устанавливать зону измерения размером приблизительно от 100 мкм, когда пропорциональная счетная трубка еще обеспечивает относительно высокие значения скорости счета. С помощью этого прибора можно достичь очень высокой сходимости результатов измерений даже при малом времени измерения. Кроме того, приборы XULM оснащаются автоматически сменяемыми диафрагмами и наборами сменных фильтров, позволяющими гибко создавать оптимальные условия возбуждения при решении различных измерительных задач.
Несмотря на свою компактность, эти инструменты оснащены измерительной камерой большого объема, позволяющей выполнять измерения даже на крупных объектах. С-образный вырез в корпусе делает возможными измерения на плоских образцах большого размера (например, на печатных платах), которые иначе не поместились бы в измерительную камеру. Образец помещается непосредственно на плоскую подставку или, если нужна более точная ориентация, на подвижную XY-платформу с ручным приводом, которая предлагается в качестве опции. Приборы XUL и XULM оснащаются пропорциональными счетными трубками, но различаются рентгеновскими трубками, фильтрами и диафрагмами. Надежный и экономически эффективный прибор XUL оборудуется одной диафрагмой и одним фиксированным фильтром. Стандартная встроенная рентгеновская трубка имеет бо́льшие размеры фокусного пятна; поэтому наименьший полезный размер диафрагмы равен 0,3 мм. Из-за расхождения пучка номинальное разрешение достигается только при размере зоны измерения от 0,7 до 1 мм.
Расположение аппаратных компонентов у всех моделей одинаково: источник и детектор рентгеновского излучения расположены под измерительной камерой. Измерение выполняется снизу вверх, что ускоряет и облегчает позиционирование образцов. XAN 220 выпускается в нескольких модификациях, отличающихся друг от друга рентгеновскими трубками, детекторами и количеством диафрагм и фильтров. В этом семействе есть решения, оптимизированные в расчете на различные применения и требования к точности при высокой экономической эффективности. Ассортимент приборов семейства XAN включает среди прочего модели с аппаратным и программным обеспечением, ориентированным на особые нужды таких отраслей, как ювелирная промышленность и торговля золотом.
|
XUL 210 |
XULM 240 |
---|---|---|
Исполнение |
Фиксированная платформа |
Платформа, перемещаемая вручную в плоскости XY |
Максимальное перемещение в плоскости XY |
– |
30 х 40 мм |
Пространство для размещения образца |
310 х 320 мм |
310 х 320 мм |
Максимальный вес образца |
13 кг |
2 кг |
Максимальная высота образца |
174 мм |
174 мм |
Колиматоры |
0.3 мм |
0.1 мм, 0.2 мм, 0.05х0.05 мм, 0.2х0.03 мм |
Фильтры |
Без фильтра |
Сменные: Без фильтра, Ni, Al |
Приборы XULM очень хорошо подходят для измерений на хрупких деталях, таких как соединители, контакты и провода, а также для измерения толщины золотых и никелевых покрытий по меди на печатных платах. При диаметре зоны измерения 0,25 мм можно измерять толщину даже тонких золотых покрытий (80 нм), достигая сходимости в 2,5 нм при времени измерения 20 с.